- 功率测量仅需几十个微秒
- 测量功率高达350W(连续测试)/600W(间歇测试),以及15kW的峰值功率
- 支持可见光到远红外激光测量
- 能够追踪调制激光器和长脉冲激光器的单脉冲形状
- 较大的有效探测面积
PowerMax-Pro(专利号#9,059,346)代表了激光功率传感技术的重大进步,它将热电堆的宽波长灵敏度、动态范围和激光损伤能力与半导体光电二极管的响应速度相结合。
相干公司(Coherent)发明了一种新型薄膜技术,用于制造一种能够快速感应入射激光能量所产生的热变化的设备。与传统的热电堆探测器不同,在这些新的PowerMax-Pro传感器中,热量垂直流过只有几微米厚的薄膜,而不是沿几厘米的距离径向流到设备的边缘。因此,测量响应时间低于10µs,而传统热电堆的响应时间超过1秒。这种HP型结合了一个ZnSe扩散片,可实现高达15kW峰值功率的测量。
PowerMax-Pro传感器的高响应速度在商业应用中尤其具有优势,它可以更频繁地对CW激光功率和脉冲激光能量进行采样,从而提高产量并改善流程控制。
规格\型号 |
PowerMax-Pro HP |
PowerMax-Pro USB/RS HP 2K |
波长范围 |
700 nm ~ 1070 nm; 10.6 µm |
700 nm ~ 1070 nm; 10.6 µm |
平均功率范围1(W) |
1~350 (22W最大风冷,连续工作) (75W最大水冷,5分钟) |
3~350 (22W最大风冷,连续工作) (75W最大水冷,5分钟) |
最大峰值功率(W) |
15000 (<10 ms脉冲) 1500 (连续) |
2000 |
噪声等效功率(mW) 标准模式(10 Hz) 高速模式(20 kHz) 快照模式(625 kHz) |
<25 <100 <300(5 kW低量程) <1.5W(40 kW高量程) |
<150 <200 <300 |
最大功率密度(kW/cm2) |
1.2 (150W) |
1.2 (150W) |
最大峰值功率密度(kW/cm2) |
50 (1 ms; 1064 nm) |
50 (1 ms; 1064 nm) |
最大能量密度(J/cm2) |
30 (3 ms; 755 nm) |
30 (3 ms; 755 nm) |
上升沿时间(μs) |
≤10 |
≤10 |
下降沿时间(μs) |
≤10 |
≤10 |
探测器镀膜类型 |
HD |
HD |
扩散片 |
ZnSe |
ZnSe |
有效探测面积(mm) |
25直径 |
25直径 |
最小光斑尺寸(mm) |
根据损伤阈值设定 |
根据损伤阈值设定 |
最大光斑尺寸1(mm) |
18 |
18 |
校准不确定度(%) (k=2)@810nm |
±2 |
±2 |
光谱补偿精度(%) |
±5 |
±5 |
功率线性度1(%) |
±2(1W~10 kW) 3~10(10~15 kW) |
±2 |
空间均匀性(%) (孔径中心64%;2.5 mm光束) |
±5 |
±5 |
校准波长(nm) |
810 |
810 |
冷却方式 |
水冷/风冷(间歇式) |
水冷/风冷(间歇式) |
接口类型 |
DB25 |
USB/RS-232 |
线缆长度 |
2.5 m (8.2 ft.) |
4.2 m (13.8 ft.) |
PN编号 |
1286588 |
1315456 (USB) 1315457 (RS-232) |