半导体激光器

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PKG系列无水封装蝶形激光器

一款1392.5nm DFB激光器,用于测量低水分浓度。由于消除了传统PKG所存在的蓝宝石窗口和光纤耦合之间的少量水汽问题,因此可以测量微量的水蒸气浓度,且不受外界空气影响,具有很高的重复性。

产品特点


  • 超低水分检测
  • 14 pin 蝶形封装


传统封装:


新型封装:

主要应用


  • 半导体制造系统
  • TDLAS、WMS技术
  • 超低水分浓度监测


应用举例:


使用 TDLAS 方法比较 H2O气体吸收光谱。红线代表参考气室的吸收线。在左图所示的传统 PKG 光谱中,我们可以看到仍有约 30 ppm-m 的背景吸收,如蓝线所示。另一方面,在右图所示的新型 PKG 光谱中,蓝线所示的背景吸收已降至 2.5 ppm-m 的水平。



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