• 6轴精密操纵
• 所有6个轴真正独立
• 没有串扰
• 直接读出波导Y轴位置
• 快速的齿条和齿轮驱动可以方便地访问中央工作站，简单加载
• 便携式和稳定 - 无需光学桌。
• 并入两个具有20 nm灵敏度的Elliot Gold™系列XYZ弯曲平台（MDE122）。