真空度:< 1E-4 Torr 耐压:10kV 高电流:600A 支持手动、半自动开发 自研核心部件 高电流探针 高电流探针头弧形设计 针头弹性设计 单排600A 双排1200A 探针座平行调整 高电压探针 钨针Tip 陶瓷针臂 高电压> 20kV