高功率晶圆测试系统采用密闭腔体形式，将运动构件、制热构件、制冷构件以及测试使用的晶圆卡盘、探针台、探针壁等部件集 中在密闭腔体中，构建安全、稳定的功率器件晶圆级测试环境，满足高温、低温、高压、高流等极端条件的安全测试要求，保护器 ...
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